基板处理液和使用该处理液的抗蚀基板处理方法

摘要

本发明提供一种可以有效除去残存在显影后抗蚀基板表面上的抗蚀剂残渣，并且能够使图案精细化的抗蚀基板处理液以及使用该处理液的抗蚀基板的处理方法。处理具有该显影后的光抗蚀图案的抗蚀基板的抗蚀基板处理液含有不溶解显影后的光抗蚀图案的溶剂、以及可溶解于前述溶剂的聚合物。通过将显影处理后的抗蚀基板与该抗蚀基板处理液接触，并用水等冲洗液进行洗涤，可以有效除去基板表面上的抗蚀剂残渣。溶剂优选使用水，聚合物优选使用水溶性聚合物。

主权项

一种抗蚀基板处理液，其处理具有显影后的光抗蚀图案的抗蚀基板，其特征在于，含有不溶解前述光抗蚀图案的溶剂、可溶解于前述溶剂的聚合物、以及基于所述抗蚀基板处理液的总重量为0.1～10重量%的可溶解前述光抗蚀图案的溶解性调整剂，其中，前述聚合物为水溶性聚合物，并且前述水溶性聚合物为具有重复单元的共聚物，该重复单元来自于丙烯酸、甲基丙烯酸、乙烯基醇和乙烯基吡咯烷酮以及它们的衍生物构成的群组中选出的单体。