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一种差分式力平衡加速度传感器，其特征包括电路部分和机械底座部分，所描述电路部分有RC桥式振荡电路、检波电路及差动输出电路；所描述的机械底座部分包括有线圈、磁缸、差变电容器、调零机构和铝圆环，其中： RC桥式振荡电路，用于产生高频正弦交流信号，并提供给机械底座部分的差变电容器作为交流激励信号； 检波电路，用于对机械底座部分的差变电容器输出的高频交流信号进行解调，并检出代表振动的低频加速度信号； 差动输出放大电路，用于对检波电路输出的信号进行放大调理，并将加速度传感器的单端输出信号调整为双端差动输出信号； 差变电容器，用于对机械部分的线圈运动位移转换为电量变化； 线圈，用于切割磁缸中的磁场，产生反馈电磁力为传感器提供反馈电磁力； 磁缸，用于产生均匀磁场，辅助产生反馈电磁力为传感器提供反馈电磁力； 调零机构，用于调整传感器的零点，即调整线圈在磁缸中的位置； 铝圆环，用于固定差变电容器的上极板、固定传感器的电路部分，即固定电路板。 |
