| 发明名称 | 具有行移透镜多光束扫描仪的晶片缺陷检测系统 | ||
| 摘要 | 一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束(151)并在每个产生的行移透镜的焦点处产生多个浮动光点束。使用光检测单元(110)产生有用的扫描数据，其中所述光检测单元具有多个检测器区，每个检测器区具有多个光检测器和至少一个多级存储器件，该存储器件可操作以从多个光检测器并行接收输入。被储存在每个存储器件中的信息从多级被同时串行读出。 | ||
| 申请公布号 | CN101738398B | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
| 申请号 | CN200910266307.5 | 申请日期 | 2003.03.14 |
| 申请人 | 应用材料以色列有限公司 | 发明人 | H·费尔德曼;E·叶利亚舍夫;N·埃尔马利亚克;R·纳夫塔利;B·戈德堡;S·赖因霍恩 |
| 分类号 | G01N21/89(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/89(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人 | 赵蓉民 |
| 主权项 | 一种用于检测多个同时扫描斑点束的线性光检测设备，所述光检测设备包括：沿着公共轴线性设置的多个相邻光检测器区，每个检测器区被设置成与其它检测器区同时检测来自各个扫描斑点束的光，所述扫描斑点束是经由声光行移透镜器件由单光源产生的多个同时扫描的斑点束的一个，所述声光行移透镜器件具有单个晶体，用于提供多个行移透镜，并且每个检测器区包括：多个相邻光检测器，和至少一个多级存储器件，其可操作以从所述多个光检测器并行接收输入并同时串行读出被存储在所述多级存储器件的多级中的信息。 | ||
| 地址 | 以色列雷霍沃特 | ||