发明名称 |
一种微蚀液再生方法和系统 |
摘要 |
本发明提供一种微蚀液再生方法和系统,所述方法包括:暂存回收的废微蚀液;将所述暂存的废微蚀液抽入一级中转缸;在所述一级中转缸中添加成分为硫酸H2SO4、无水硫酸铜CuSO4、光泽剂、水H2O的添加剂并搅拌均匀;将所述添加有添加剂的废微蚀液抽入电解槽进行直流电电解,回收所述废微蚀液中的单质铜;将所述经过直流电电解的废微蚀液抽入二级中转缸;对所述二级中转缸中的废微蚀液中的硫酸H2SO4和双氧水H2O2的含量进行调整,得到再生的微蚀液。实施本发明,对于废微蚀液进行回收处理,可以减少硫酸、双氧水的消耗,同时还可萃取单质铜,减少了能源消耗,减少了温室气体排放量。 |
申请公布号 |
CN102653867B |
申请公布日期 |
2014.04.02 |
申请号 |
CN201210151757.1 |
申请日期 |
2012.05.15 |
申请人 |
金悦通电子(翁源)有限公司 |
发明人 |
吕志源 |
分类号 |
C23F1/46(2006.01)I |
主分类号 |
C23F1/46(2006.01)I |
代理机构 |
广州三环专利代理有限公司 44202 |
代理人 |
温旭 |
主权项 |
一种微蚀液再生方法,其特征在于,包括如下步骤:1)、暂存回收的废微蚀液;2)、将暂存的废微蚀液抽入一级中转缸;3)、在所述一级中转缸中添加成分为硫酸H2SO4、无水硫酸铜CuSO4、光泽剂、水H2O的添加剂并搅拌均匀;4)、将添加有添加剂的废微蚀液抽入电解槽进行直流电电解,回收废微蚀液中的单质铜;5)、将经过直流电电解的废微蚀液抽入二级中转缸;6)、对二级中转缸中的废微蚀液中的硫酸H2SO4和双氧水H2O2的含量进行调整,得到再生的微蚀液;所述步骤4)具体包括:所述电解槽的内部利用钛片做阳极,铜板作为阴极;向该电解槽通入直流电,将废微蚀液中的铜离子沉淀在所述电解槽的铜板上;当所述铜板增厚时,对该铜板进行清理,从所述铜板上回收废微蚀液中的单质铜;检测所述电解槽中的废微蚀液中的铜离子浓度,当废微蚀液中的铜离子浓度小于3g/L时,切断所述电解槽的直流电,所述电解槽自动停止对废微蚀液的直流电电解;所述步骤5)具体包括:将铜离子浓度小于3g/L的废微蚀液抽入所述二级中转缸;所述步骤6)具体包括:从所述二级中转缸中取预定量的废微蚀液,利用氢氧化钠滴定观察其颜色变化,记录氢氧化钠的用量;根据废微蚀液的量和氢氧化钠的用量,计算得到硫酸的含量;从所述二级中转缸中取预定量的废微蚀液,利用硫酸铈滴定观察其颜色变化,记录硫酸铈的用量;根据废微蚀液的量和硫酸铈的用量,计算得到双氧水的含量;当废微蚀液中的硫酸和双氧水的含量小于预定标准值时,得到再生的微 蚀液。 |
地址 |
512627 广东省韶关市翁源县翁城镇产业转移工业园 |