| 发明名称 | 涂层切削工具和其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种具有改善耐磨性的用于金属加工的切削工具，其包括硬质合金、金属陶瓷、陶瓷或超硬材料的切削工具基材(a)和耐磨涂层。所述耐磨涂层包括具有组成梯度的PVD Ti-Si-C-N层(b)。本发明还涉及利用一个或更多个Ti靶和包括三甲基硅烷气体流的反应性气体气氛，通过使用电弧蒸镀制造所述切削工具的方法。所述三甲基硅烷气体流在沉积方法期间以连续或逐渐变化的方式改变。 | ||
| 申请公布号 | CN102066617B | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
| 申请号 | CN200980122939.2 | 申请日期 | 2009.04.17 |
| 申请人 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 发明人 | 马茨·阿尔格伦 |
| 分类号 | C23C30/00(2006.01)I;B23B27/14(2006.01)I;C04B41/50(2006.01)I;C04B41/87(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I | 主分类号 | C23C30/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 张珂珂;郭国清 |
| 主权项 | 一种制造用于金属加工的切削工具的方法，特征在于该方法包括利用一个或多个Ti靶和包括三甲基硅烷气体流的反应性气体气氛，使用电弧蒸镀向硬质合金、金属陶瓷、陶瓷或超硬材料的切削工具基材上沉积具有组成梯度的PVD Ti‑Si‑C‑N层，以及在沉积过程期间以连续或逐渐变化的方式改变所述三甲基硅烷气体流量，其中所述PVDTi‑Si‑C‑N层的平均Si/(Si+Ti)原子比为0.05至0.15，残余应力为‑3.0GPa的压缩应力至最高达+0.5Gpa的拉伸应力，和平均C/(C+N)原子比为0.05至0.20。 | ||
| 地址 | 瑞典桑德维肯 | ||