发明名称 硅片的容载装置
摘要 本实用新型涉及一种硅片的容载装置,包括沿口周边有法兰的花篮,其特征在于:还包括花篮架,所述花篮架包括提手和具有用来容置花篮的框孔的框架,且提手与框架相连接,所述花篮配装在框孔内且通过其法兰扣挂在框架上。本实用新型具有结构简单,且易于石英管相分离,降低生产成本等优点。
申请公布号 CN203521386U 申请公布日期 2014.04.02
申请号 CN201320605131.3 申请日期 2013.09.29
申请人 常州银河电器有限公司 发明人 明建华
分类号 H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 代理人 夏海初
主权项 一种硅片的容载装置,包括沿口周边有法兰(1‑1)的花篮(1),其特征在于:还包括花篮架(2),所述花篮架(2)包括提手(2‑1)和具有用来容置花篮(1)的框孔(2‑3)的框架(2‑2),且提手(2‑1)与框架(2‑2)相连接,所述花篮(1)配装在框孔(2‑3)内且通过其法兰(1‑1)扣挂在框架(2‑2)上。
地址 213022 江苏省常州市新北区河海西路168号