发明名称 | 硅片的容载装置 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种硅片的容载装置,包括沿口周边有法兰的花篮,其特征在于:还包括花篮架,所述花篮架包括提手和具有用来容置花篮的框孔的框架,且提手与框架相连接,所述花篮配装在框孔内且通过其法兰扣挂在框架上。本实用新型具有结构简单,且易于石英管相分离,降低生产成本等优点。 | ||
申请公布号 | CN203521386U | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
申请号 | CN201320605131.3 | 申请日期 | 2013.09.29 |
申请人 | 常州银河电器有限公司 | 发明人 | 明建华 |
分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 | 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 | 代理人 | 夏海初 |
主权项 | 一种硅片的容载装置,包括沿口周边有法兰(1‑1)的花篮(1),其特征在于:还包括花篮架(2),所述花篮架(2)包括提手(2‑1)和具有用来容置花篮(1)的框孔(2‑3)的框架(2‑2),且提手(2‑1)与框架(2‑2)相连接,所述花篮(1)配装在框孔(2‑3)内且通过其法兰(1‑1)扣挂在框架(2‑2)上。 | ||
地址 | 213022 江苏省常州市新北区河海西路168号 |