发明名称 薄膜成型设备
摘要 本实用新型揭露一种薄膜成型设备,其包括一脱模机构及一承载机构。该脱模机构包括一压印平台及一脱模环。该压印平台具有多个气体通道,用以注入气体。该脱模环设于该压印平台上,且正对该气体通道。其中,该承载机构用以吸住一基板的顶面。其中,该基板的底面抵靠该脱模机构。在该数个气体通道被注入气体时,该脱模环、该基板及该承载机构相对该压印平台被顶起。如此,即可藉由该脱模环来达到使该基板与该压印平台分离的目的。
申请公布号 CN203521380U 申请公布日期 2014.04.02
申请号 CN201320403533.5 申请日期 2013.07.08
申请人 东捷科技股份有限公司 发明人 邱建清;陈赞仁
分类号 H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 广东国欣律师事务所 44221 代理人 李文
主权项 一种薄膜成型设备,其特征在于,包括: 一脱模机构,包括一压印平台及一脱模环;该压印平台具有多个气体通道,用以注入气体;该脱模环设于该压印平台上,且正对该多个气体通道;及 一承载机构,用以吸住一基板的顶面;其中,该基板的底面抵靠该脱模机构,在该多个气体通道被注入气体时,该脱模环、该基板及该承载机构相对该压印平台被顶起。
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