发明名称 | 薄膜成型设备 | ||
摘要 | 本实用新型揭露一种薄膜成型设备,其包括一脱模机构及一承载机构。该脱模机构包括一压印平台及一脱模环。该压印平台具有多个气体通道,用以注入气体。该脱模环设于该压印平台上,且正对该气体通道。其中,该承载机构用以吸住一基板的顶面。其中,该基板的底面抵靠该脱模机构。在该数个气体通道被注入气体时,该脱模环、该基板及该承载机构相对该压印平台被顶起。如此,即可藉由该脱模环来达到使该基板与该压印平台分离的目的。 | ||
申请公布号 | CN203521380U | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
申请号 | CN201320403533.5 | 申请日期 | 2013.07.08 |
申请人 | 东捷科技股份有限公司 | 发明人 | 邱建清;陈赞仁 |
分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 | 广东国欣律师事务所 44221 | 代理人 | 李文 |
主权项 | 一种薄膜成型设备,其特征在于,包括: 一脱模机构,包括一压印平台及一脱模环;该压印平台具有多个气体通道,用以注入气体;该脱模环设于该压印平台上,且正对该多个气体通道;及 一承载机构,用以吸住一基板的顶面;其中,该基板的底面抵靠该脱模机构,在该多个气体通道被注入气体时,该脱模环、该基板及该承载机构相对该压印平台被顶起。 | ||
地址 | 中国台湾台南市新市区南科五路6号3楼 |