一种硅片脱胶预冲洗装置

摘要

本实用新型提供一种硅片脱胶预冲洗装置，所述硅片脱胶预冲洗装置包括板式换热器（3），所述板式换热器（3）上端两侧分别设有第一入口（2）和第二入口（4），第一入口（2）与铸锭炉冷却水（1）的出口（7）相连，第二入口（4）为冷水注入口，板式换热器（3）的下端设有板式换热器出口（5），与硅片预冲洗管道（8）连接，预冲洗口（6）设在硅片预冲洗管道8的另一端。应用本实用新型的硅片脱胶预冲洗装置，可以使硅片脱胶预冲洗进水水温固定在20℃-25℃，以适应硅片切割完的温度，减轻胶水冷热收缩的问题，提高了合格率并降低崩边比率。同时减少了冷却水机器的能耗，从而降低了铸锭及单晶在冷却水冷却上的能耗。

主权项

一种硅片脱胶预冲洗装置，其特征在于：所述硅片脱胶预冲洗装置包括板式换热器（3），所述板式换热器（3）上端两侧分别设有第一入口（2）和第二入口（4），第一入口（2）与铸锭炉冷却水（1）的出口（7）相连，第二入口（4）为冷水注入口，板式换热器（3）的下端设有板式换热器出口（5），与硅片预冲洗管道（8）连接，预冲洗口（6）设在硅片预冲洗管道8的另一端。