发明名称 |
半导体气体传感器 |
摘要 |
本发明揭示了一种半导体气体传感器,包括:基底,所述基底具有表面;设置在所述表面的信号感测电极,所述信号感测电极包括两个导电电极、以及电性连接所述两个导电电极的功能层;设置在所述表面的加热电极,所述加热电极与所述信号感测电极彼此绝缘,所述加热电极环绕所述信号感测电极设置。本发明提供的半导体气体传感器,通过将加热电极环绕信号感测电极设置,可以保证信号感测电极处于加热电极产生的均匀热场中,加热效果稳定,可以有效地提高传感器的响应速率。 |
申请公布号 |
CN103698360A |
申请公布日期 |
2014.04.02 |
申请号 |
CN201310681936.0 |
申请日期 |
2013.12.13 |
申请人 |
苏州纳格光电科技有限公司 |
发明人 |
张克栋;徐红艳;崔铮 |
分类号 |
G01N27/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/00(2006.01)I |
代理机构 |
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 |
代理人 |
杨林洁 |
主权项 |
一种半导体气体传感器,其特征在于,包括:基底,所述基底具有表面;设置在所述表面的信号感测电极,所述信号感测电极包括两个导电电极、以及电性连接所述两个导电电极的功能层;设置在所述表面的加热电极,所述加热电极与所述信号感测电极彼此绝缘,所述加热电极环绕所述信号感测电极设置。 |
地址 |
215123 江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼104室 |