| 发明名称 | 在球栅阵列结构中使用的植球设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及在球栅阵列结构中使用的植球设备，包括供胶机构(1)、转印机构(2)、供球机构(3)、植球机构(4)、工作平台(5)、残余球检测机构(6)、X、Z轴运动机构(7)、底部架台(8)，供胶机构(1)及供球机构(3)对应设置在底部架台(8)的顶部，转印机构(2)架设在X、Z轴运动机构(7)上并位于供胶机构(1)的上方，工作平台(5)设在供胶机构(1)及供球机构(3)之间，植球机构(4)架设在X、Z轴运动机构(7)上并位于工作平台(5)的上方，残余球检测机构(6)设在工作平台(5)一侧。与现有技术相比，本实用新型由各单元机构相互配合，提高了生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN203521378U | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
| 申请号 | CN201320620842.8 | 申请日期 | 2013.10.09 |
| 申请人 | 上海微松工业自动化有限公司;上海理工大学 | 发明人 | 刘劲松;任永军 |
| 分类号 | H01L21/60(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/60(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人 | 林君如 |
| 主权项 | 在球栅阵列结构中使用的植球设备，其特征在于，包括供胶机构(1)、转印机构(2)、供球机构(3)、植球机构(4)、工作平台(5)、残余球检测机构(6)、X、Z轴运动机构(7)、底部架台(8)，所述的供胶机构(1)及供球机构(3)对应设置在底部架台(8)的顶部，所述的转印机构(2)架设在X、Z轴运动机构(7)上并位于供胶机构(1)的上方，所述的工作平台(5)设在供胶机构(1)及供球机构(3)之间，所述的植球机构(4)架设在X、Z轴运动机构(7)上并位于工作平台(5)的上方，所述的残余球检测机构(6)设在工作平台(5)一侧。 | ||
| 地址 | 201114 上海市闵行区新骏环路188号15-102 | ||