晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构

摘要

一种晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构，对晶圆研磨原液加水搅拌成供应研磨晶圆用的预定稀释晶圆研磨液过程前管路的储存槽，此储存槽底所设的喷流搅拌机制进行结构改进，使喷流搅拌机制的动力泵不直接叠接分水盘，再由分水盘塞封储存槽底透孔，使动力泵出入口分别接管连通分水盘对应端，再由分水盘塞封该槽底透孔，于动力泵入口通往分水盘的接管临近中段位置，设置维修控制阀，并于动力泵出口叉分通往分水盘的接管临近中段位置，设置回流搅拌控制阀，使动力泵外挂横伸出该槽底外围。本实用新型维持原喷流搅拌机制良好拌匀少沉积晶圆研磨液的性能外，还能避免漏液滴入动力泵内造成异常，其动力泵外挂横伸出容装晶圆研磨液储存槽底，使维修更方便。

主权项

一种晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构，设有储存槽，该储存槽的槽底设有喷流搅拌机制及导引回流管路，该储存槽不同于现有喷流搅拌机制的动力泵直接叠接分水盘，再由分水盘塞封储存槽底透孔，其特征在于：动力泵出入口分别接管连通分水盘对应端，再由分水盘塞封该槽底透孔，且于动力泵入口通往分水盘的接管临近中段位置，设置维修控制阀，并于动力泵出口叉分通往分水盘的接管临近中段位置，设置回流搅拌控制阀，使动力泵外挂横伸出储存槽底外围。