| 发明名称 | 复合薄膜作为红外吸收层的热电堆红外气体探测器及其加工方法 | ||
| 摘要 | 本发明属于热电堆红外气体探测器的技术领域，具体涉及一种复合薄膜作为红外吸收层的热电堆红外气体探测器及其加工方法，解决了传统热电堆红外探测器热电转化率低和释放过程中悬浮结构易损坏等问题。其包括SOI衬底、热偶条、SiO2介质层、金属连接和焊盘、SiO2隔离层以及吸收层，N/P多晶硅热偶条的冷端支撑于SOI衬底，吸收层悬浮设置于探测器的顶部。本发明利用复合纳米薄膜对近红外波段较强的吸收率，并且将吸收层悬浮于器件上方，提高了器件单元占空比，相应地提高探测器的响应率和探测率，进而优化探测器的性能指标。 | ||
| 申请公布号 | CN103698020A | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
| 申请号 | CN201310630488.1 | 申请日期 | 2013.12.02 |
| 申请人 | 中北大学 | 发明人 | 谭秋林;陈媛婧;熊继军;薛晨阳;张文栋;刘俊;毛海央;明安杰;欧文;陈大鹏 |
| 分类号 | G01J5/12(2006.01)I;G01N21/3504(2014.01)I;H01L35/32(2006.01)I;H01L35/34(2006.01)I | 主分类号 | G01J5/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人 | 任林芳 |
| 主权项 | 一种复合薄膜作为红外吸收层的热电堆红外气体探测器，包括SOI衬底（1）、热偶条（4）、SiO2介质层（3）、金属连接和焊盘（7）、SiO2隔离层（6）以及吸收层，其特征在于N/P多晶硅热偶条的冷端支撑于SOI衬底（1），吸收层悬浮设置于探测器的顶部。 | ||
| 地址 | 030051 山西省太原市学院路3号 | ||