一种真空机械传送系统

摘要

本发明实施例提供了一种真空机械传送系统，涉及自动化领域，可减少基板换取的时间，提升自动化生产的产量；该真空机械传送系统包括机械手和真空腔；所述真空腔包括设置在与腔门相对的腔体侧壁上的伸缩支撑手和设置在腔体内部的升降针；其中，所述伸缩支撑手沿与腔门相对的腔体侧壁向腔门的方向伸缩，所述升降针沿腔体底部向腔体顶部的方向升降；所述机械手包括第一抓取板和第二抓取板；其中，所述第一抓取板位于上方，所述第二抓取板位于下方，且所述第一抓取板和所述第二抓取板固定在一起；用于基板的自动换取。

主权项

一种真空机械传送系统，包括机械手和真空腔；其特征在于，所述真空腔包括设置在与腔门相对的腔体侧壁上的伸缩支撑手和设置在腔体内部的升降针；其中，所述伸缩支撑手沿与腔门相对的腔体侧壁向腔门的方向伸缩，所述升降针沿腔体底部向腔体顶部的方向升降；所述机械手包括第一抓取板和第二抓取板；其中，所述第一抓取板位于上方，所述第二抓取板位于下方，且所述第一抓取板和所述第二抓取板固定在一起。