一种微位移传感器标定装置

摘要

一种微位移传感器标定装置属于精密微动调整与检测领域，目的在于解决现有技术存在的测量的重复定位精度差和长期稳定性差的问题。本发明包括调整架、压电驱动器和标定基准组件；所述压电驱动器固定在所述调整架上，所述压电驱动器驱动调整架的运动杆运动，所述标定基准组件固定在所述调整架上，所述标定基准组件组件与待标定微位移传感器同时测量所述运动杆的输出位移量。本发明提供了一种能够提供微位移的运动装置和一种作为检测基准的精度更高传感器光栅尺，通过光栅尺和待标定微位移传感器同时测量运动杆的输出位移，实现对待标定微位移传感器的标定。本标定装置具有结构简单，运动过程中不存在摩擦和回程误差，重复定位精度高和长期稳定性好。

主权项

一种微位移传感器标定装置，其特征在于，包括调整架（1）、压电驱动器（2）和标定基准组件（4）；所述压电驱动器（2）固定在所述调整架（1）上，所述压电驱动器（2）驱动调整架（1）的运动杆（106）运动，所述标定基准组件（4）固定在所述调整架（1）上，所述标定基准组件（4）与待标定微位移传感器（3）同时测量所述运动杆（106）的输出位移量。