苯蒸气检测传感器敏感材料及气敏元件的制备方法

摘要

本发明涉及一种苯蒸气检测传感器敏感材料及气敏元件的制备方法，属功能材料、传感技术与环境监测技术领域。本发明以溶胶凝胶法制得的SnO2与商用V2O5固相反应制得的复合材料作为敏感材料来检测苯蒸气；将涂覆SnO2/V2O5纳米复合材料的气敏元件经500℃煅烧，按厚膜式半导体气敏元件制作工艺对气敏元件进行焊接，即四角电极引线铂丝的焊接；干燥后，老化、封装，便制得苯蒸气检测传感器气敏元件。制得的气敏元件对苯蒸气的检测具有高灵敏度、高选择性、低功耗等优点，可用于检测大气或室内环境中的苯蒸气和甲苯蒸气。

主权项

一种苯蒸气检测传感器敏感材料及气敏元件的制备方法，其特征在于具有以下的制备过程和步骤：a. SnO2纳米材料的制备：以SnCl4·5H2O为原料，溶解于去离子水中制成0.05‑0.2 mol/L的溶液，40℃恒温水浴磁力搅拌30‑50分钟，滴加氨水调节至pH为2‑5；离心分离后得到白色胶状沉淀，接着用去离子水和无水乙醇离心洗涤多次，干燥后得到凝胶颗粒，在500℃退火处理2小时，用玛瑙研钵研细，即得SnO2纳米材料；b. SnO2和V2O5纳米复合材料的制备：将SnO2：V2O5 按质量比为99:1‑4:1将两种纳米材料经混合后研磨均匀，在600℃下固相反应2‑3小时得到SnO2和V2O5纳米复合材料，即苯蒸气检测传感器敏感材料；c. 苯蒸气检测传感器气敏元件的制备：先将苯蒸气检测传感器敏感材料置于研钵中，加入少量去离子水调成糊状后，均匀涂在四角平面基片上，经过500℃固化处理2‑3小时后；按厚膜半导体气敏元件制作工艺对气敏元件进行焊接，即四条电极引线铂丝的焊接；红外灯干燥后，在老化台上进行老化、封装，即制得苯蒸气检测传感器气敏元件。