| 发明名称 | 籍助于喷射传热气体的热处理 | ||
| 摘要 | 本发明涉及到与温度发生反应的前驱体的热处理，尤其包括以下步骤：将传热气体预热或冷却至控制温度，以及向前驱体喷射预热或冷却的气体。有利的是，除传热气体的温度(T0)外，还可以控制向前驱体喷射气体的流速(D)以及在前驱体与向前驱体喷射气体的出口(5)之间的距离(x)，以便最终控制接受喷射气体的前驱体的温度。 | ||
| 申请公布号 | CN103703550A | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
| 申请号 | CN201280023001.7 | 申请日期 | 2012.05.03 |
| 申请人 | 法国电力公司;国家科学研究中心 | 发明人 | 格雷戈里·萨维丹德;丹尼尔·林科特 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I;H01L21/428(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海天协和诚知识产权代理事务所 31216 | 代理人 | 童锡君 |
| 主权项 | 适用于与温度发生反应的前驱体的热处理方法，其特征在于，包括以下步骤：‑将传热气体预热或冷却至控制温度，以及，‑向前驱体喷射预热或冷却的气体。 | ||
| 地址 | 法国巴黎 | ||