| 发明名称 | 蒸镀设备及其蒸镀方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种蒸镀设备及其蒸镀方法。该蒸镀设备包括依次设置的蒸发源、蒸汽循环机构以及喷射机构；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述蒸汽循环机构用于使所述蒸发源提供的有机蒸汽循环流动；所述喷射机构与所述蒸汽循环机构连通，用于将所述蒸汽循环机构中的有机蒸汽喷射到基板上形成有机镀膜。本发明利用蒸汽循环机构使蒸发源提供的有机蒸汽循环流动起来，从而能够为喷射机构的各个位置尽可能均一的提供有机蒸汽；因此，喷射机构各个位置的喷嘴设置成相同的大小即可，而不必设置过小或者过小的喷嘴，从而在源头上解决了喷射机构容易出现堵塞故障的问题，大大提升蒸镀设备的可靠性。 | ||
| 申请公布号 | CN103695848A | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
| 申请号 | CN201310746560.7 | 申请日期 | 2013.12.30 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 赵德江;崔伟;王路 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 李迪 |
| 主权项 | 一种蒸镀设备，其特征在于，包括依次设置的蒸发源、蒸汽循环机构以及喷射机构；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述蒸汽循环机构用于使所述蒸发源提供的有机蒸汽循环流动；所述喷射机构与所述蒸汽循环机构连通，用于将所述蒸汽循环机构中的有机蒸汽喷射到基板上形成有机镀膜。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||