| 发明名称 | 用于制备磷酸盐化合物的气相沉积方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于制备磷酸盐化合物的气相沉积方法，其中，所述方法包括：将所述磷酸盐化合物的每种成分元素以蒸气提供，和将所述成分元素蒸气共沉积在共同的基材上，其中，所述成分元素在所述基材上反应，以形成所述磷酸盐化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN103703161A | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
| 申请号 | CN201280036100.9 | 申请日期 | 2012.07.20 |
| 申请人 | 爱利卡技术有限公司;丰田自动车株式会社 | 发明人 | 布赖恩·埃利奥特·海登;克里斯托弗·爱德华·李;邓肯·克利福德·艾伦·史密斯;马克·斯蒂芬·比尔;吕晓娟;矢田千宏 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C30B23/08(2006.01)I;C30B23/06(2006.01)I;H01M4/58(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 陈平 |
| 主权项 | 一种用于制备磷酸盐化合物的气相沉积方法，其中，所述方法包括：将所述磷酸盐化合物的每种成分元素以蒸气提供，和将所述成分元素蒸气共沉积在共同的基材上，其中，所述成分元素在所述基材上反应，以形成所述磷酸盐化合物。 | ||
| 地址 | 英国南安普敦 | ||