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发明名称
摘要
申请公布号	JPS4210493(Y1)	申请公布日期	1967.06.09
申请号	JP19650098546U	申请日期	1965.02.03
申请人		发明人
分类号	H01L21/52;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68	主分类号	H01L21/52
代理机构		代理人
主权项
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