功率器件用的探针卡

摘要

本发明提供一种功率器件用的探针卡，能够显著地减小探针与测试器间的测定线路和载置台与测试器间的测定线路各自的电阻，在用作探针装置的实际设备时也能够充分地确保可靠性。本发明的探针卡（10）具备：与功率器件（D）的发射极电极电接触的第一探针（11）；与第一探针（11）连接的块状的第一连接端子（12）；与功率器件（D）的栅极电极电接触的第二探针（13）；与第二探针（13）连接的块状的第二连接端子（14）、能够与功率器件（D）的集电极电极侧电接触的接触板（15）；和固定于接触板（15）的块状的第三连接端子（16）。第一连接端子、第二连接端子、第三连接端子（12）、（14）、（16）分别与测试器侧的连接端子直接电接触。

主权项

一种探针卡，其在检查形成于半导体晶片的多个功率器件的动态特性时使用，该探针卡的特征在于，包括：与所述功率器件的发射极电极电接触的第一探针；与所述第一探针连接的块状的第一连接端子；与所述功率器件的栅极电极电接触的第二探针；与所述第二探针连接的块状的第二连接端子；能够与所述功率器件的集电极电极侧电接触的接触板；和固定于所述接触板的块状的第三连接端子，所述第一连接端子、第二连接端子、第三连接端子分别与对应的测试器侧的连接端子直接电接触。