晶体生长复合称重设备及使用该设备的晶体生长炉

摘要

本发明提供一种称重系统，可以同时满足晶体生长过程中高精度和大量程的需求，为准确掌握晶体质量变化采取恰当的晶体生长控制手段提供可靠保障。在泡生晶体生长炉的籽晶杆上方安装高精度小量程的称重传感器，泡生晶体生长炉的坩埚下端安装低精度大量程的称重传感器。当引晶后晶体开始增长时，重量变化非常小，采用高精度小量程称重传感器可以准确显示每小时晶体质量的微小变化。当晶体重量临近高精度小量程称重传感器的量程范围时，晶体重量增长速度很快，此时关闭该称重传感器同时开启低精度大量程称重传感器，通过大量程的称重传感器，称重传感器通过熔体质量的减少计算出晶体质量。长晶人员通过双称重传感器系统可以迅速掌握晶体质量的变化，有助于改变长晶条件，控制晶体重量变化率。

主权项

一种称重系统，称重传感器与泡生晶体炉相连，其特征是：在泡生炉内安装两个称重传感器，一个与籽晶杆相连，另一个固定在坩埚下端。