纳米器件、包括该纳米器件的晶体管、用于制造该纳米器件的方法,以及用于制造该晶体管的方法

摘要

提供了纳米器件、包括该纳米器件的晶体管、制造该纳米器件的方法，以及制造包括该纳米器件的晶体管的方法。该纳米器件包括衬底、位于衬底上并具有至少一个开口的掩模层，以及穿过所述开口沿开口的边缘在衬底上形成的纳米管。所述纳米管在与衬底的表面基本垂直的方向延伸穿过开口。

主权项

一种纳米器件，包括：衬底；位于衬底上的掩模层，该掩模层具有至少一个开口；以及穿过所述开口沿所述开口的边缘形成在衬底上的纳米管，该纳米管在与衬底的表面基本垂直的方向延伸穿过所述开口，其中所述衬底包括：与纳米管接触的第一衬底部分；以及被第一衬底部分包围的第二衬底部分，其中第一衬底部分的表面能大于第二衬底部分的表面能，第一衬底部分和第二衬底部分之间的表面能的差是0.1J/m2至5J/m2。