一种制备用于热释电探测器的钽酸锂晶片的方法

摘要

本发明实施例公开了提供了一种制备用于热释电探测器的钽酸锂晶片的方法，包括：将预定厚度的钽酸锂晶片置于浸泡溶液中进行浸泡处理并清洗，然后到工装上并将工装固定到驱动盘，对钽酸锂晶片进行研磨和抛光处理。本发明实施例的方法工艺简单，设备投资少，周期较短，利于降低成本及大规模制备晶片。

主权项

一种制备用于热释电探测器的钽酸锂晶片的方法，其特征在于，包括：将预定厚度的钽酸锂晶片置于浸泡溶液中进行浸泡处理；清洗浸泡处理后的所述钽酸锂晶片；将清洗后的所述钽酸锂晶片用粘合剂沾到工装上；将沾了所述钽酸锂晶片的所述工装固定到驱动盘上；驱动所述驱动盘旋转，用研磨材料对所述钽酸锂晶片进行研磨；清洗研磨之后的所述钽酸锂晶片；用抛光材料对所述钽酸锂晶片进行抛光处理。