高速轨道式研磨装置

摘要

本实用新型公开高速轨道式研磨装置，包括定子、转子、转台、摆子、吸盘，所述定子固定于机架两侧，所述定子中心设置有中心轴，所述定子通过第一电磁轴承、第二电磁轴承与定子内侧的转子构成一对磁悬浮系统，所述摆子通过第三电磁轴承、第四电磁轴承与转子构成另一对磁悬浮系统，所述转子、摆子在定子带动下一起在垂直方向上下移动，所述摆子下端安装有握持晶圆的吸盘，所述转台设置于吸盘下方，所述转台上粘贴有研磨垫，所述转台由电动机带动旋转。具有高平坦度，低划伤的优点。

主权项

高速轨道式研磨装置，包括定子、转子、转台、摆子、吸盘，其特征在于：所述定子固定于机架两侧，所述定子中心设置有中心轴，所述定子通过第一电磁轴承、第二电磁轴承与定子内侧的转子构成一对磁悬浮系统，所述摆子通过第三电磁轴承、第四电磁轴承与转子构成另一对磁悬浮系统，所述转子、摆子在定子带动下一起在垂直方向上下移动，所述摆子下端安装有握持晶圆的吸盘，所述转台设置于吸盘下方，所述转台上粘贴有研磨垫，所述转台由电动机带动旋转。