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经营范围
发明名称
垂直型热处理装置及其运用方法
摘要
申请公布号
TWI433205
申请公布日期
2014.04.01
申请号
TW094121727
申请日期
2005.06.28
申请人
东京威力科创股份有限公司 日本
发明人
浅利聪;三原胜彦
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
日本
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