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发明名称 深渠沟衬层移除制程
摘要
申请公布号 TWI433263 申请公布日期 2014.04.01
申请号 TW099138497 申请日期 2010.11.09
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 隆　凡恩;高明辉
分类号 H01L21/76;H01L21/311 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人 周良谋 新竹市东大路1段118号10楼;周良吉 新竹市东大路1段118号10楼
主权项
地址 日本
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