发明名称 Verfahren zur Herstellung eng toleriert dotierter Siliciumstaebe
摘要
申请公布号 DE1245331(B) 申请公布日期 1967.07.27
申请号 DE1960W029981 申请日期 1960.04.19
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION 发明人 JUN. WILLIAM HARDING;WINTER WILLIAM
分类号 C23C16/22;C30B13/10;C30B15/00;H01L21/00 主分类号 C23C16/22
代理机构 代理人
主权项
地址