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发明名称 半导体微影用共聚物及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI432893 申请公布日期 2014.04.01
申请号 TW096146554 申请日期 2007.12.06
申请人 丸善石油化学股份有限公司 日本 发明人 山岸孝则;工藤昌章;山口贤志
分类号 G03F7/004;C08F220/28;C08F212/14;C08F220/38 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本
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