用以均等化加热温度的化学蒸气沉积装置,申请号TW095142214-传众专利搜索

发明名称	用以均等化加热温度的化学蒸气沉积装置
摘要
申请公布号	TWI432599	申请公布日期	2014.04.01
申请号	TW095142214	申请日期	2006.11.15
申请人	优吉尼科技股份有限公司南韩	发明人	严坪熔
分类号	C23C16/46;C23C16/54	主分类号	C23C16/46
代理机构		代理人	恽轶群台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项
地址	南韩