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经营范围
发明名称
定位工具之Ｘ-Ｙ定位的校准方法及具有这种定位工具的装置
摘要
申请公布号
TWI433256
申请公布日期
2014.04.01
申请号
TW096149174
申请日期
2007.12.21
申请人
艾尔发有限公司 瑞士
发明人
安德烈斯马特尔;尔邦恩斯特;约翰尼斯舒斯特
分类号
H01L21/68;G05B19/402
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼;王彦评 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项
地址
瑞士
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