| 发明名称 |
研磨垫、其制造方法及研磨加工方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI432286 |
申请公布日期 |
2014.04.01 |
| 申请号 |
TW099120186 |
申请日期 |
2010.06.22 |
| 申请人 |
富士纺控股公司 日本;信越半导体股份有限公司 日本 |
发明人 |
糸山光纪;高桥大介;上野淳一;小林修一 |
| 分类号 |
B24B37/24;B24D3/32;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
黄于真 台北市中山区松江路283号5楼之1;李国光 新北市中和区中正路928号5楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
