半导体制程之温控设备,申请号TW102219520-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	半导体制程之温控设备
摘要
申请公布号	TWM475698	申请公布日期	2014.04.01
申请号	TW102219520	申请日期	2013.10.18
申请人	翔名科技股份有限公司新竹市香山区牛埔南路221号	发明人	郑国梁
分类号	H01L23/34;H01L21/3065	主分类号	H01L23/34
代理机构		代理人	林志青台北市信义区松隆路102号18楼之1
主权项
地址	新竹市香山区牛埔南路221号

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