发明名称 定量加料装置、处理站及处理设备
摘要
申请公布号 TWM475312 申请公布日期 2014.04.01
申请号 TW101222554 申请日期 2012.11.21
申请人 瑞纳有限公司 德国 发明人 怀特曼 坦雅;尼塞 玛帝亚斯;史威肯迪克 乔根
分类号 B01J4/02;H01L21/306 主分类号 B01J4/02
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 德国