发明名称 用于在微电子工作件中形成互连之方法及使用此等方法形成之微电子工作件
摘要
申请公布号 TWI433266 申请公布日期 2014.04.01
申请号 TW097147507 申请日期 2008.12.05
申请人 美光科技公司 美国 发明人 马克 瑟夫瑞吉
分类号 H01L21/768;H01L27/14 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 美国