发明名称 液体材料之填充方法、装置及程式之媒体
摘要
申请公布号 TWI433242 申请公布日期 2014.04.01
申请号 TW097104577 申请日期 2008.02.05
申请人 武藏工业股份有限公司 日本 发明人 生岛和正
分类号 H01L21/56;B05D1/28;B05C11/105;B05C5/02 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项
地址 日本