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发明名称 基板处理装置以及传送基板的方法
摘要
申请公布号 TWI432368 申请公布日期 2014.04.01
申请号 TW098127832 申请日期 2009.08.19
申请人 细美事有限公司 南韩 发明人 朴善用;金春植;裵正龙
分类号 B65G49/07;H01L21/677 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人 庄志强 台北市大安区敦化南路2段71号18楼;王云平 台北市大安区敦化南路2段71号18楼
主权项
地址 南韩
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