发明名称 METHOD OF FORMING INTERLAYER DIELECTRICS
摘要
申请公布号 SG2012063830(A) 申请公布日期 2014.03.28
申请号 SG20120063830 申请日期 2012.08.28
申请人 UNITED MICROELECTRONICS CORP. 发明人 ZHANG, JIANDONG;FANG, HAN CHUAN;ZHANG, JIANJUN;SHU, XIAOWEI;ZHANG, MIAO
分类号 H01L21/20;B32B17/06;H01L21/768 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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