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发明名称
METHOD OF FORMING INTERLAYER DIELECTRICS
摘要
申请公布号
SG2012063830(A)
申请公布日期
2014.03.28
申请号
SG20120063830
申请日期
2012.08.28
申请人
UNITED MICROELECTRONICS CORP.
发明人
ZHANG, JIANDONG;FANG, HAN CHUAN;ZHANG, JIANJUN;SHU, XIAOWEI;ZHANG, MIAO
分类号
H01L21/20;B32B17/06;H01L21/768
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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