| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine EUV-Strahlungserzeugungsvorrichtung (1), umfassend: eine Vakuum-Kammer (4), in der zur Erzeugung von EUV-Strahlung (14) ein Target-Material (13) an einer Zielposition (Z) anordenbar ist, sowie eine Strahlführungs-Kammer (3) zur Führung eines Laserstrahls (5) von einer Treiberlasereinrichtung (2) in Richtung auf die Zielposition (Z). Die EUV-Strahlungserzeugungsvorrichtung (1) umfasst eine Zwischen-Kammer (18), die zwischen der Vakuum-Kammer (4) und der Strahlführungs-Kammer (3) angebracht ist, ein die Zwischen-Kammer (18) gasdicht abschließendes erstes Fenster (19) zum Eintritt des Laserstrahls (5) von der Strahlführungs-Kammer (3) sowie ein die Zwischen-Kammer (18) gasdicht abschließendes zweites Fenster (20) zum Austritt des Laserstrahls (5) in die Vakuum-Kammer (4). Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Betreiben der EUV-Strahlungserzeugungsvorrichtung (1). |
