摘要 |
Magnetoresistives Gradiometer in Form einer Wheatstone-Brücke zur Messung von Magnetfeldgradienten und damit verbundener Größen, wobei die einzelnen Widerstände (1, 1'; 2, 2'; 3, 3'; 4, 4') der Wheatstone-Brücke aus zueinander geometrisch parallel angeordneten magnetoresistiven Schichtstreifen (9.1 bis 9.4 und 9.1' bis 9.4') mit Barber Pole Struktur (10) entgegengesetzter Neigung auf einem Schichtträger bestehen, wobei die einzelnen Widerstände (1, 1'; 2, 2'; 3, 3'; 4, 4') der Wheatstone-Brücke aus Reihenschaltungen von jeweils gleich vielen magnetoresistiven Schichtstreifen (9.1 bis 9.4 und 9.1' bis 9.4') mit Barber Pole Struktur (10) entgegengesetzter Neigung bestehen, wobei die magnetoresistiven Schichtstreifen (9.1 bis 9.4 und 9.1' bis 9.4') des einzelnen Widerstands (1, 1'; 2, 2'; 3, 3'; 4, 4') in zwei Bereichen (11, 12) angeordnet sind, deren Mittellinien (14, 15) sich symmetrisch zu einer Mittelachse (13) befinden, wobei die Schichtstreifen (9.1, 9.1' bzw. 9.1', 9.1) des jeweiligen einzelnen Widerstands mit einer Barber Pole Struktur mit zueinander entgegengesetzter Neigung sich in verschiedenen Bereichen (11 bzw. 12) befinden, und die Schichtstreifen (9.1, 9.1' bzw. 9.1', 9.1) des jeweiligen einzelnen Widerstands mit gleicher Neigung der Barber Pole Struktur in je einem gleichen Bereich (11 bzw. 12) des Gradiometers angeordnet sind. |