METHOD FOR MEASURING SURFACE POTENTIALS ON POLARISED DEVICES

摘要

La présente invention concerne un procédé pour la mesure du potentiel de surface d'un échantillon (2) polarisé comportant les étapes suivantes : - on mesure le profil topographique (11) dudit échantillon (2) en balayant la surface de ce dernier à l'aide d'une pointe effilée (3) reliée à un micro-levier (4) activé à sa fréquence de résonance par un activateur piézoélectrique (5); - on place ladite pointe effilée (3) à une distance (d) constante par rapport au profil topographique (11) de la surface obtenu lors de l'étape précédente; - on mesure le potentiel électrostatique (13) de ladite surface; ledit procédé étant caractérisé en ce que l'on ne polarise pas ledit échantillon (2) lors de l'étape de mesure du profil topographique (11) et en ce que l'on polarise ledit échantillon (2) lors de la mesure du profil de potentiel (13).