| 摘要 |
1. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности образца (40), содержащий:- основание (1), на котором установлены:- пуансон (2) с первым приводом (4), адаптированный по меньшей мере для модификации поверхности образца (40), и- механизм (6) перемещения образца (40) со вторым приводом (7),- сканирующее устройство (33), установленое на механизме (6) перемещения образца (40),- образец (40), закрепленный на сканирующем устройстве (33),- первый зажим (27) с зондом (28), адаптированным для зондирования образца (6), и- блок управления (107), адаптированный для управления по меньшей мере сканирующим устройством (33) и зондом (28),характеризующийся тем, что он содержит платформу (18) с первой и второй направляющими (22), (23), на которых установлена подвижная каретка (26),тем, что платформа (18) закреплена на механизме (6) перемещения образца (40), итем, что первый зажим (27) с зондом (28) установлены на подвижной каретке (26).2. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что он содержит третий привод (31), сопряженный с подвижной кареткой (26) и тем, что блок управления (107) адаптирован для управления третьим приводом (31).3. Сканирующий зондовый микроскоп по п.2, характеризующийся тем, что третий привод (31) установлен на платформе (18).4. Сканирующий зондовый микроскоп по п.2, характеризующийся тем, что третий привод (31) установлен на основании (1).5. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что первый привод (4) сопряжен с подвижной кареткой (26), и тем, что блок управления (107) адаптирован для управления первым приводом (4).6. Сканирующий зондовый микроскоп по любому одному из пп.1-5, характеризующийся тем, что он содержит перв |
