发明名称 一种绝缘栅双极晶体管及其制备方法
摘要 本发明公开了一种绝缘栅双极晶体管,本发明的绝缘栅双极晶体管在N型基区表面设置有P型基区、N+集电区、栅氧化层和栅极介质,在N型基区下表面设置了多晶P型半导体材料作为器件的背P+发射区;本发明的绝缘栅双极晶体管降低了器件的导通电阻,提高了器件的高频应用能力。本发明还提供了一种绝缘栅双极晶体管的制备方法。
申请公布号 CN103681810A 申请公布日期 2014.03.26
申请号 CN201210320208.2 申请日期 2012.09.01
申请人 朱江 发明人 朱江
分类号 H01L29/739(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/331(2006.01)I 主分类号 H01L29/739(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种绝缘栅双极晶体管,其特征在于:包括:N型基区,由N+缓冲层和N‑基区叠加组成,为N型半导体材料;P型基区、N+集电区、栅氧化层和栅极介质,位于N型基区上方;背P+发射区,为多晶P型半导体材料,位于N型基区的下方。
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