外力检测装置及外力检测传感器

摘要

本发明提供一种外力检测装置及外力检测传感器，若对压电板施加外力而引起压电板挠曲或压电板挠曲的程度变化，则压电板侧的可动电极(5)与对向于可动电极(5)的固定电极(6)之间的距离变化。因此两电极(5)与电极(6)间的电容发生变化，将电容变化及压电板的挠曲程度作为压电板的振荡频率的变化来获取。也可将压电片的轻微的变形作为振荡频率的变化来检测，而可高精度地测量施加至压电片的外力，且装置构成简单。本发明的外力检测装置及外力检测传感器可利用简易构造，高精度地检测施加至压电板的外力。

主权项

一种外力检测装置，检测作用于压电板的外力，其特征在于包括：容器，包含绝缘体；支撑部，用以在所述容器内支撑所述压电板；一方的激振电极及另一方的激振电极，为使所述压电板振动而分别设置在所述压电板的一面侧及另一面侧；振荡电路，与所述一方的激振电极电性连接；可变电容形成用的可动电极，设置在与所述压电板的支撑部分开的位置，与所述另一方的激振电极电性连接；固定电极，以与所述压电板分离且与所述可动电极对向的方式设置，并且与所述振荡电路连接，通过所述压电板的挠曲而使所述固定电极与所述可动电极之间的电容变化，由此形成可变电容；频率信息检测部，用以检测与所述振荡电路的振荡频率对应的频率信息、即信号；以及导电体，设置在：所述压电板的与所述可动电极为相反侧的面、通过外力挠曲的部位与和所述部位对向的部位中的至少一者，且形成有自所述振荡电路经过所述一方的激振电极、所述另一方的激振电极、所述可动电极及所述固定电极并返回至所述振荡电路的振荡环路，由所述频率信息检测部检测出的频率信息是：用以对作用于所述压电板的外力进行评估的信息。