| 发明名称 | 柔性基底上溅射二氧化钛纳米棒阵列的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种柔性基底上溅射二氧化钛纳米棒阵列的制备方法，包括柔性基底清洗：依次用丙酮、酒精、去离子水超声清洗；基底溅射：采用直流溅射钛靶，溅射气体为纯氩气和纯氧气；后续溅射：继续进行直流溅射，溅射气体不变。该方法操作简便，且获得的纳米棒阵列的厚度可以通过磁控溅射的时间和温度进行控制，产物性质稳定，成膜均匀，可用于大面积制备，适用于工业化生产。 | ||
| 申请公布号 | CN103668089A | 申请公布日期 | 2014.03.26 |
| 申请号 | CN201310639266.6 | 申请日期 | 2013.12.04 |
| 申请人 | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 | 发明人 | 林琳;赵斌;何丹农 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;B82Y30/00(2011.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海东方易知识产权事务所 31121 | 代理人 | 唐莉莎 |
| 主权项 | 一种柔性基底上溅射二氧化钛纳米棒阵列的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）柔性基底清洗：依次用丙酮、酒精、去离子水超声清洗；（2）基底溅射：采用直流溅射钛靶，溅射气体为纯氩气和纯氧气；（3）后续溅射：继续进行直流溅射，溅射气体不变。 | ||
| 地址 | 200241 上海市闵行区江川东路28号 | ||