压电马达、机器人手、机器人、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、送液泵、打印装置

摘要

本发明提供压电马达、机器人手、机器人、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、送液泵、打印装置、电子表、投影装置以及搬运装置。由相对于振动体设置于弯曲方向的两侧的第一侧部以及第二侧部、连结第一侧部以及第二侧部的连结部等构成振动体壳体。这样的话，振动体的相对于弯曲方向的刚性能够变高，并且能够抑制振动体壳体发生歪斜。另外，由于该构造在能够确保相同刚性的情况下能够使振动体壳体变小，因此能够确保较高的刚性并且能够使振动体壳体小型化。因此，能够实现抑制压电马达的大型化并且充分确保驱动精度的压电马达。

主权项

一种压电马达，其特征在于，具备：振动体，其包含压电材料，并且通过被施加电压从而沿伸缩方向以及弯曲方向振动；以及振动体壳体，其收容有所述振动体，所述振动体壳体具有：第一侧部，其相对于所述振动体设置于所述弯曲方向；第二侧部，其隔着所述振动体设置于所述第一侧部的相反侧；以及连结部，其相对于所述振动体设置于与所述弯曲方向以及所述伸缩方向正交的方向，从而连结所述第一侧部和所述第二侧部。