双槽式多晶硅片制绒方法

摘要

本发明公开了一种双槽式多晶硅片制绒方法，其特征在于，采用两个制绒槽对多晶硅片进行制绒，两槽中的溶液为硝酸和氢氟酸的混酸溶液：1）在第一个制绒槽内增加制绒添加剂进行预制绒；2）在第二个制绒槽内通过鼓泡工艺再制绒。本发明通过双槽制绒工序，使制绒反应可控，能分别控制预制绒、再制绒的腐蚀深度和腐蚀效果，有效去除硅片表面的损伤层，并最大程度的去除阴阳面、明暗条纹，还能有效改善花篮印。这种制绒方法拓宽了多晶制绒的工艺窗口，大大提高多晶硅片的制绒质量，有效降低反射率，提升电池效率。

主权项

双槽式多晶硅片制绒方法，其特征在于，采用两个制绒槽对多晶硅片进行制绒：1）在第一个制绒槽内进行预制绒，制绒液为8％‑15％氢氟酸、35％‑50％硝酸、0.1％‑0.4％制绒添加剂和34.6％‑56.9％纯水混合而成的酸性溶液，制绒液温度为5℃‑12℃，腐蚀时间为50s‑150s；2）在第二个制绒槽内通过鼓泡工艺再制绒，制绒液为5％‑12％氢氟酸、40％‑55％硝酸和33％‑55％纯水的混合酸溶液，制绒液温度为4℃‑10℃，腐蚀时间为30s‑70s；其中，所述百分比为体积百分比。