发明名称 集成电路中具有开口的金属焊盘
摘要 本发明公开了一种器件,包括金属焊盘和钝化层,其中该钝化层包括与金属焊盘的边缘部分重叠的部分。后钝化互连件(PPI)包括位于钝化层上方的迹线部分以及连接至迹线部分的焊盘部分。聚合物层包括位于PPI上方的上部分,和延伸至PPI的焊盘部分中并且被PPI的焊盘部分环绕的插塞部分。本发明还公开了集成电路中具有开口的金属焊盘。
申请公布号 CN103681563A 申请公布日期 2014.03.26
申请号 CN201310263301.9 申请日期 2013.06.27
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 陈硕懋;黄渝婷
分类号 H01L23/488(2006.01)I 主分类号 H01L23/488(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种器件,包括:金属焊盘;钝化层,包括与所述金属焊盘的边缘部分重叠的部分;后钝化互连件(PPI),包括:迹线部分,位于所述钝化层上方;和焊盘部分,连接至所述迹线部分;以及第一聚合物层,包括:位于所述PPI上方的上部;和插塞部分,延伸进入所述PPI的焊盘部分中并且被所述PPI的焊盘部分所环绕。
地址 中国台湾新竹