波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块及电子设备

摘要

本发明提供了波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5）具备：具有固定反射膜（55）的第一基板（51）、与第一基板（5）1接合且具备可动部（522）及固定于可动部（522）的可动反射膜（56）的第二基板（52）、以及在第一基板（51）的相反侧与第二基板（52）接合的第三基板（53），且波长可变干涉滤波器（5）还包括：通过第一基板（51）和第二基板（52）夹着的第一内部空间（581）、连通第一内部空间（581）和外部的第一间隙（591）、通过第二基板（52）和第三基板（53）夹着的第二内部空间（582）、连通第二内部空间（582）和外部的第二间隙（592），第一间隙（591）和第二间隙（592）通过密封材料（518）密封。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板，具有第一反射膜；第二基板，具有可动部，所述可动部设置有与所述第一反射膜相对的第二反射膜，所述第二基板接合于所述第一基板；第三基板，与所述第二基板的设置有所述第一基板侧的相反侧相对，所述第三基板接合于所述第二基板；第一内部空间，设置在所述第一基板和所述第二基板之间；第一间隙，连通所述第一内部空间和外部；第二内部空间，设置在所述第二基板和所述第三基板之间；以及第二间隙，连通所述第二内部空间和外部，其中，在所述第一间隙设置有密封所述第一内部空间的密封材料，在所述第二间隙设置有密封所述第二内部空间的所述密封材料。