| 发明名称 | 光波导元件及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供抑制了直流漂移的光波导元件的制造方法，进而提供能够在制造工艺的中途调整直流漂移而改善制造的成品率的光波导元件的制造方法。该光波导元件的制造方法包括在具有电光效果的基板形成光波导的工序、形成缓冲层的工序、形成电极的工序，其特征在于，在形成该缓冲层后加入了1阶段或多阶段的界面扩散层热调整工序（S1，S2），该界面扩散层热调整工序用于利用加热来调整该缓冲层内的特定物质的浓度分布。 | ||
| 申请公布号 | CN103688213A | 申请公布日期 | 2014.03.26 |
| 申请号 | CN201280035340.7 | 申请日期 | 2012.07.19 |
| 申请人 | 住友大阪水泥股份有限公司 | 发明人 | 藤野哲也;栗原雅尚;神力孝;菅又徹 |
| 分类号 | G02F1/035(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/035(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 高培培;车文 |
| 主权项 | 一种光波导元件的制造方法，包括在具有电光效果的基板形成光波导的工序、形成缓冲层的工序、形成电极的工序，其特征在于，在形成该缓冲层后加入了1阶段或多阶段的界面扩散层热调整工序，该界面扩散层热调整工序用于利用加热来调整该缓冲层内的特定物质的浓度分布。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||