一种NMOS阈值电压测量方法

摘要

本申请公开了一种NMOS阈值电压测量方法，该方法应用于线上测量，由包括待测NMOS在内的六个NMOS相互连接组成镜像电路，通过控制相关NMOS的沟道长度和沟道宽度的比值，实现电路中某点的输出电压与待测NMOS阈值电压相等，从而将NMOS的阈值电压提取，实现待测NMOS阈值电压的线上测量。

主权项

一种NMOS阈值电压测试方法，应用于线上测量，该方法包括：提供待测的第一NMOS，第二NMOS，第三NMOS，第四NMOS，第五NMOS和第六NMOS，所述待测的第一NMOS的沟道长度与沟道宽度的比值的平方根与所述第三NMOS的沟道长度与沟道宽度的比值的平方根之和等于所述第四NMOS的沟道长度与沟道宽度的比值的平方根，所述第五NMOS和所述第六NMOS相同；将所述待测的第一NMOS的栅极和所述第二NMOS的栅极同时与所述第三NMOS的源极和衬底电连接，所述待测的第一NMOS和所述第二NMOS的源极和衬底同时接地，所述第二NMOS的漏极与所述第四NMOS的源极和衬底电连接，所述第五NMOS的源极和衬底与所述第三NMOS的栅极和漏极电连接，所述第六NMOS的源极和衬底与所述第四NMOS的栅极和漏极电连接，所述第五NMOS的栅极与所述第六NMOS的栅极电连接，第五NMOS的漏极和第六NMOS的漏极上施加工作电压；测量所述第二NMOS的漏极与所述第四NMOS的源极和衬底之间的电压输出值，得到所述待测的第一NMOS的阈值电压。